半导体电子行业换热应用案例

2026-09-20半导体电子

在半导体制造中，换热设备是保障工艺精度与良率的核心工艺装备，其关键应用包括：为光刻、刻蚀机、镀膜机等提供恒温、高纯去离子水的制程冷却水（PCW）系统；换热设备需满足超高洁净度、精密控温及724小时连续稳定运行要求。

在半导体制造中，换热设备是保障工艺精度与良率的核心工艺装备，其关键应用包括：为光刻、刻蚀机、镀膜机等提供恒温、高纯去离子水的制程冷却水（PCW）系统；换热设备需满足超高洁净度、精密控温及7×24小时连续稳定运行要求。